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詳細(xì)介紹
GCQ系列氣動高真空插板閥和CCQ系列氣動超高真空插板閥都是用于接通或切斷真空管路中氣流的目的一種裝置。
a) 通常真空插板閥的高度較高，有占設(shè)備高度空間大的缺點。為了克服這個缺點我們將驅(qū)動裝置設(shè)計在側(cè)面，這樣大大地縮短了閥門的高度尺寸，減少了設(shè)備空間的制造成本
b) 適用的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。CCQ系列能承受450oC烘烤溫度,通常用于離子泵和高溫的真空環(huán)境。
適用范圍 | 105~6.7×10-5Pa（GCQ系列） 105~6.7×10-8Pa（CCQ系列） |
閥門漏率 | ≤1.3×10-5Pa.L/S（GCQ系列） ≤1.3×10-8Pa.L/S（CCQ系列） |
介質(zhì)溫度 | -30~+150oC（GCQ系列） -40~+450oC（CCQ系列） |
閥門開啟時閥板兩側(cè)的壓差 | ≤2.7×103Pa（DN≥320建議＜1000Pa） |
氣源壓力 | 0.4~0.6MPa |
電源 | AC220V、AC110V、DC24V |
啟閉時間 | 3~10s |
安裝狀態(tài) | 任意，水平側(cè)臥為 佳 |
閥體、閥板 | 不銹鋼 |
GCQ系列密封件 | 丁腈橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封) |
CCQ系列密封件 | 無氧銅、波紋管、閥板氟橡膠密封 |
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