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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

精密級(jí)微定位平臺(tái) Q-Motion®平臺(tái)的尺寸小，位置分辨率高達(dá)納米級(jí)

Q-Motion®平臺(tái)的尺寸小，位置分辨率高達(dá)納米級(jí)。壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)器原理及其電氣操作的成本效益好，可定制

靜止?fàn)顟B(tài)下自鎖，無(wú)熱量產(chǎn)生。速度達(dá)70度/秒。保持力矩為6毫牛米，驅(qū)動(dòng)力矩為5毫牛米

所有Q-Motion平臺(tái)都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10^-6 百帕。此外，超高真空變型可適用于10^-9 百帕。還可按需提供無(wú)磁性變型

工業(yè)和科研。用于計(jì)量、顯微鏡、顯微操縱、生物技術(shù)和自動(dòng)化

技術(shù)參數(shù)：

初步數(shù)據(jù)	Q-622.930	Q-622.900	Q-622.90U	單位	公差
運(yùn)動(dòng)和定位	小型轉(zhuǎn)臺(tái)帶用于閉環(huán)操作的位置傳感器	小型轉(zhuǎn)臺(tái)不帶位置傳感器	小型轉(zhuǎn)臺(tái)，不帶位置傳感器，用于超高真空高達(dá)10^-9 百帕
主動(dòng)軸	θ_Z	θ_Z	θ_Z
旋轉(zhuǎn)范圍	>360	>360	>360	°
集成傳感器	增量編碼器	–	–
傳感器分辨率	0.55	–	–	微弧度
最小位移	2.2	100*	100*	微弧度	典型值
單向重復(fù)精度	3	–	–
速度，開(kāi)環(huán)	70	70	70	度/秒
機(jī)械性能
負(fù)載容量	1	1	1	牛
保持力矩，斷電	6	6	6	毫牛米	最小
力矩	5	5	5	毫牛米	典型值
長(zhǎng)度	22	22	22	毫米
寬度	22	22	22	毫米
高度	10	10	10	毫米
轉(zhuǎn)臺(tái)直徑	22	22	22	毫米
驅(qū)動(dòng)性能
電機(jī)類(lèi)型	壓電慣性驅(qū)動(dòng)器	壓電慣性驅(qū)動(dòng)器	壓電慣性驅(qū)動(dòng)器
其他
工作溫度范圍	0 到 40	0 到 40	0 到 40	°C
材料	鋁	鋁	鋁
不含電纜的質(zhì)量	15	12	12	克
電纜長(zhǎng)度	1	1	1	米
連接器	Sub-D	Sub-D	Sub-D
推薦控制器	E-871，E-873	E-870	E-870