詳細(xì)介紹
主要技術(shù)參數(shù)
● 波長(zhǎng)范圍:185nm-3300nm
● 橢偏類型:采用PEM相位調(diào)制
● 測(cè)量范圍:Psi= 0°-90°,Delta= 0°-360°無(wú)死區(qū)
● 入射角: 55°-90°;入射角控制精度:5°
● 樣品臺(tái)尺寸:可放置直徑150mm、厚度≥20mm的樣品
功能特點(diǎn)
● 配置了3個(gè)檢測(cè)器,在1500 nm波長(zhǎng)檢測(cè)時(shí)噪聲小于0.00003 Abs,達(dá)到低的噪聲水平。
● 采用高性能雙單色器,實(shí)現(xiàn)高分辨率(分辨率0.1nm)和超低雜散光(340nm處雜散光0.00005%以下)。
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