詳細(xì)介紹
主要技術(shù)參數(shù)
● 垂直測(cè)量范圍:0.1nm 至 10mm
● 垂直分辨率:<0.01nm Ra
● RMS重現(xiàn)性:0.01nm
● 橫向分辨率:0.08 至13.1微米
● 視場(chǎng)范圍:8.24mm 至0.05mm
● 臺(tái)階測(cè)試精度:0.75%
● 反射率范圍:1% 至99%
功能特點(diǎn)
● 雙LED光源(白光和綠光),Bruker技術(shù)。
● 配置2倍、10倍、50倍目鏡
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