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行業(yè)產(chǎn)品

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堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-03-30 08:19:20瀏覽次數(shù)：170次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：167條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：黃少華 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

該系列產(chǎn)品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

詳細介紹

類別 描述

堆疊式XYZ Stage

平臺特性
  • 堆疊式3 軸平臺，正交性設(shè)計
  • 全局平面度、直線度達微米級
X/Y 軸
  • 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導軌
  • 無線纜擾動力設(shè)計
Z 軸
  • 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度
  • 高剛性、高精度導向設(shè)計
  • 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
  • 超薄型、輕量化設(shè)計
  • 垂向可支持25mm 行程
  • 支持轉(zhuǎn)速240rpm
控制系統(tǒng)
  • ACS 8 軸驅(qū)動器，支持PEG、STO 等功能
  • ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ 系統(tǒng)，采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZ-10Stage 標準模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZ-10 Stage 標準模組采用了大行程磁浮重力補償技術(shù)，具有降低垂向電機的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命的功能?？蓪崿F(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺Cross XY Stage模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。

堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）

平臺特性
  • 堆疊式4 軸平臺，正交性設(shè)計
  • 全局平面度、直線度達微米級
X/Y 軸
  • 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導軌
  • 無線纜擾動力設(shè)計
Z 軸
  • 垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度
  • 高剛性、高精度導向設(shè)計
  • 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
  • 超薄型、輕量化設(shè)計
  • 垂向可支持24mm 行程
Rz 軸
  • 360 旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附
  • 支持±0.7mm 翹曲晶圓
  • 支持轉(zhuǎn)速240rpm
控制系統(tǒng)
  • ACS 8 軸驅(qū)動器，支持PEG、STO 等功能
  • ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ 臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZT-24-CRGStage 標準模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋轉(zhuǎn)運動平臺和垂向運動創(chuàng)新性的在軸向進行耦合的設(shè)計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉(zhuǎn)。十字平臺Cross XY Stage 模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動。可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。

堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

平臺特性
  • 堆疊式7 軸平臺，正交性設(shè)計
  • 全局平面度、直線度達微米級
X/Y 軸
  • 高剛度內(nèi)循環(huán)滾柱導軌
  • 無線纜擾動力設(shè)計
Z3T 軸
垂向磁懸浮重力補償，可實現(xiàn)定位精度
  • 柔性導向設(shè)計
  • 垂向增量光柵，可實現(xiàn)5 納米分辨率
  • 超薄型、輕量化設(shè)計
  • 支持轉(zhuǎn)速240rpm
  • 超過±0.2°的搖擺和傾斜修正
控制系統(tǒng)
  • ACS 8 軸驅(qū)動器，支持PEG、STO 等功能
  • ACS 控制器

平臺概要
堆疊式XYZ3T 臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等的理念，將MZ3T標準模組集成在XYY 堆疊式水平運動模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 軸6 自由度的高精度、高剛度運動。其中MZ3T 標準模組采用緊湊設(shè)計技術(shù)，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 軸，具有擁有優(yōu)異的定位精度、平面度、直線度、剛性和重復性精度的功能。垂向采用了的磁浮重力補償技術(shù)，降低了垂向音圈電機的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命。XYY 堆疊式水平運動模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。特別適用于特定大型面板/基體上的倒晶封裝。

關(guān)鍵詞：控制器

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