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多軸微動(dòng)臺(tái)（MZ3T Stage）

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：黃少華查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-30 08:16:19瀏覽次數(shù)：265次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：167條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：黃少華 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

該系列產(chǎn)品包含：雙Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Dz Stage）、單Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Sz Stage）

詳細(xì)介紹

類別 描述

雙Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Dz Stage）

平臺(tái)特性
  • 高精度364°旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
  • ±0.2°以上的tip 和tilt 精密調(diào)整
  • 雙Z 軸設(shè)計(jì)：晶圓交接用的Coarse Z 軸以及精密調(diào)焦用的Fine Z 軸
  • 內(nèi)置技術(shù)：磁浮重力補(bǔ)償
  • 極小軸向和徑向跳動(dòng)，僅±1.25 μm

平臺(tái)概要
雙Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)擁有4 個(gè)自由度，提供364°的旋轉(zhuǎn)角，雙Z 軸，其中一個(gè)用于圓晶裝件與卸件的粗大調(diào)整，一個(gè)用于調(diào)焦的精密調(diào)整，以及±0.2°以上的tip 和tilt 修正。該Z3T-Dz 模塊為運(yùn)動(dòng)提供更優(yōu)的跟隨誤差控制性能，其重復(fù)精度、運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間性能均支持更大行程運(yùn)動(dòng)。Z3T-Dz 模塊主要用于前道應(yīng)用，優(yōu)先于光刻后段和圓晶生產(chǎn)控制。

單Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)（Z3T-Sz Stage）

平臺(tái)特性
  • 高精度無限制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)
  • ±0.2°以上的tip 和tilt 精密調(diào)整
  • 內(nèi)置技術(shù)：磁浮重力補(bǔ)償
  • 極小軸向和徑向跳動(dòng)，僅±1.25 μm

平臺(tái)概要
單Z 軸多軸微動(dòng)臺(tái)擁有四個(gè)各自獨(dú)立的自由度，包括一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸、一個(gè)垂直軸和兩個(gè)搖擺和傾斜修正軸。該Z3T-Sz 模塊結(jié)構(gòu)極為緊湊，且具備優(yōu)異的定位精度和動(dòng)態(tài)特性，滿足半導(dǎo)體晶圓制造和檢測過程中對晶圓載臺(tái)運(yùn)動(dòng)性能的特殊需求。Z3T-Sz 的出現(xiàn)不僅為用戶提高運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)精度，簡化設(shè)計(jì)難度，還能顯著提升設(shè)備的可靠性和集成度，降低設(shè)備的復(fù)雜性和總體成本，提高性價(jià)比。


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