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更新時(shí)間：2025-03-30 08:07:30瀏覽次數(shù)：174次
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包含機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)（MRDS-180 Stage）、氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)（ARDS-180 Stage）
| 類別 | 描述 |
| 機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)（MRDS-180 Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)采用了大中孔扁平的設(shè)計(jì)思想。能實(shí)現(xiàn)Rz 方向高精度、高剛度無(wú)限制旋轉(zhuǎn)。可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、半導(dǎo)體檢測(cè)（薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查）等領(lǐng)域。 |
| 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)（ARDS-180 Stage） | 平臺(tái)特性
平臺(tái)概要 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)以超薄的外形提供了出色的角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運(yùn)動(dòng)性能。旨在滿足晶圓檢查，高精度計(jì)量，X 射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。 |
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