詳細介紹
可測試的樣品:
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半導體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等
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低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導體材料、TMR材料等
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高阻抗材料:半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等
霍爾系統(tǒng)的組成:
系統(tǒng)由:電磁鐵、高精度電源、連接電纜、高精度恒流源、高精度電壓表、高斯計、標準樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應儀將恒流源,六位半微伏表及霍耳測量復雜的切換繼電器——開關組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。DX-320可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的,因此霍爾效應測試系統(tǒng)是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性的工具。實驗結果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。
| 編號 | 品名 | 型號 | 描述 |
| 1 | 電磁鐵 | DXWD-50 | 磁場:7000Gs,氣隙20mm |
| 2 | 高斯計 | DX-150 | 精度:讀數(shù)的±0.30%;分辨率0.01mT;量程0-3T;探頭厚度:1.0mm;長度:100mm;數(shù)字顯示,RS-232接口;探頭CDX-800FT |
| 3 | 電源 | F2031 | 開路輸出電壓:80V±5V@5A,1000W,RS-232接口,可以數(shù)控極性轉換 |
| 4 | 探頭和探頭架 |
| 無磁探頭架可調(diào)節(jié)5-70mm |
| 5 | 軟件 |
| 調(diào)節(jié)磁場,數(shù)字化,對各種測試材料進行電流測試 |
| 6 | 恒流源 | DX-320 | 電流輸出:0.1nA-50mA,電壓測試:0.1uV-3V |
| 7 | 校準樣品 |
| 硅片/Ga/As,電阻:300-500Ω |
主要參數(shù):
- 磁場強度:大于7000高斯(DX-50),大于14000高斯(DX-100),氣隙15mm
- 電流:0.1mA-50mA(可擴展到1A)
- 測量電壓:0.1uV-3V
- 所提供的標樣材料:GaAs, Si等
- 磁場最小分辨率:0.01mT
- 磁場測量范圍:0-3T
- 電阻范圍:10mΩ-1MΩ
- 載流子濃度:103-1022cm-3
- 遷移率:0.1-108cm2/volt*sec
- 系統(tǒng)測量誤差:<2%
- 用高斯計或數(shù)據(jù)采集板計算機通信
- I-V曲線和I-R曲線測試
- 電阻率范圍:10-6-1011ohm*cm
- 電阻范圍:10mΩ-1MΩ
- 載流子濃度:103-1022cm-3
- 遷移率:102-107cm2/volt*sec
- 全自動測試,一件處理
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