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RTP快速爐

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更新時間:2023-12-25 12:14:48瀏覽次數(shù):264

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備特點1.升降溫速度快,升溫采用環(huán)形紅外短波加熱器,升溫速率可達200℃/s,降溫時通過將爐膛退出,實現(xiàn)對產(chǎn)品的快速降溫

詳細介紹


  1. 設(shè)備特點


1.升降溫速度快,升溫采用環(huán)形紅外短波加熱器,升溫速率可達200℃/s,降溫時通過將爐膛退出,實現(xiàn)對產(chǎn)品的快速降溫;
2.測溫采用精準的S型金屬熱電偶直接測量產(chǎn)品表面,使加熱工件的溫度更加準確;
3.控制數(shù)學控制數(shù)學模型采用的PID自學習模糊雙閉環(huán)控制模式,使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃;
4.功能多樣化,既可以用于材料的快速升降溫退火,也可用于化學氣相沉積(CVD)法,在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備。


  1. 設(shè)備參數(shù)

電源

AC380~400V,50HZ(60Hz定制)

功率

15Kw

額定溫度

1100℃

使用溫度

≤1000℃

反應腔室尺寸

Φ100X200

溫場均勻性

±3℃

溫度控制模式

智能模糊全閉環(huán)PID控制

傳感器內(nèi)型

S型單鉑銠

升溫速率

200℃/s

降溫速率

1~200℃/s(通氮氣,速率更快)

操作方式

觸摸屏控制

真空系統(tǒng)

選配

進出氣接口

Φ6卡套

本產(chǎn)品接受非標定制




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