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詳細介紹
MSA-500顯微式激光測振儀是一款全新的集多功能于一身的測量工具，可精確測量MEMS三維動態(tài)特性。
• 利用激光多普勒測振技術測量物體面外振動特性
• 利用顯微鏡視頻閃頻技術測量物體面內振動特性
• 通過白光干涉測量物體形貌特性
• 結合MSA-500和MEMS探測站來測量MEMS設備振動特性
• 利用激光多普勒測振技術測量物體面外振動特性
• 利用顯微鏡視頻閃頻技術測量物體面內振動特性
• 通過白光干涉測量物體形貌特性
• 結合MSA-500和MEMS探測站來測量MEMS設備振動特性
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