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詳細(xì)介紹
集成一體式干式螺桿真空泵SG600/SG1200系列
概括：應(yīng)用于晶硅鑄錠，高性能，長使用壽命。干式螺桿真空泵廣泛應(yīng)用于晶硅鑄錠、真空爐、半導(dǎo)體、化工等行業(yè)干式螺桿真空泵適用于大多真空系統(tǒng)和應(yīng)用場合
產(chǎn)品特點
參數(shù)規(guī)格
型號 | SG600 | SG1200 | |
抽速 | M3/h | 500/600 | 1000/1200 |
L/min | 8333/10000 | 16667/20000 | |
極限壓力 | mbar | 1.33 x 10-3 / 6.66x10-4 | |
Torr | 1x10-3 / 5x10-4 | ||
Pa | 1.33 x 10-1 / 6.66x10-2 | ||
功率 | Kw | 7.4 | 9.2 |
口徑 | 進(jìn)氣口 | ISO 100 | |
排氣口 | NW 40 | ||
冷卻水 | L/min | ≥3 | ≥5 |
重量 | Kg | 290 | 380 |
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