詳細(xì)介紹
TEC溫控載物臺(tái)是建立在半導(dǎo)體制冷技術(shù)基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)研發(fā)的集精密溫控和精密位移調(diào)整為一體的芯片載臺(tái)。載臺(tái)由我公司自主研發(fā)的精密手動(dòng)位移臺(tái)構(gòu)成多維精密調(diào)節(jié)系統(tǒng),并內(nèi)嵌高可靠性半導(dǎo)體制冷芯片配合熱傳導(dǎo)性能***佳紫銅或不銹鋼鋼臺(tái)面組成,臺(tái)面區(qū)域溫度均勻性好,溫差不大于0.2度,可為光、電及光電混合芯片耦合、封裝、測(cè)試等工藝環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定而高效的恒溫環(huán)境。

調(diào)節(jié)高精度高恒溫效果佳
傳熱效率高溫度均勻性好
體積小、無噪聲、無振動(dòng)
既可制冷又可加熱溫控范圍寬
芯片固定可配夾持也可配真空吸附
名稱 | 型號(hào) | 冷卻方式 | 調(diào)節(jié)維度 | 臺(tái)面 |
TEC溫控載物臺(tái) | FTS-FAT01 | 水冷 | X、Y、R | 紫銅 |
臺(tái)面尺寸 | 40mm×40mm | 臺(tái)面材質(zhì) | 紫銅 |
X軸調(diào)整范圍 | ±6.5mm | X軸***小刻度 | 10μm |
Y軸調(diào)整范圍 | ±6.5mm | Y軸***小刻度 | 10μm |
R軸調(diào)整范圍 | 粗調(diào)360°,精調(diào)5° | R軸***小刻度 | 粗調(diào)1°,精調(diào)5′ |
適用溫度范圍 | -20℃~100℃ | 溫度分布均勻性 | ≤0.2℃ |
TEC冷卻方式 | 水冷 | 芯片固定方式 | 真空吸附 |
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