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TEC溫控載物臺(tái) 半導(dǎo)體溫度控制載臺(tái) TEC溫度穩(wěn)定載物臺(tái)

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TEC溫控載物臺(tái) 半導(dǎo)體溫度控制載臺(tái) TEC溫度穩(wěn)定載物臺(tái) TEC溫控載物臺(tái)是建立在半導(dǎo)體制冷技術(shù)基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)研發(fā)的集精密溫控和精密位移調(diào)整為一體的芯片載臺(tái)。

詳細(xì)介紹

TEC溫控載物臺(tái)是建立在半導(dǎo)體制冷技術(shù)基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)研發(fā)的集精密溫控和精密位移調(diào)整為一體的芯片載臺(tái)。載臺(tái)由我公司自主研發(fā)的精密手動(dòng)位移臺(tái)構(gòu)成多維精密調(diào)節(jié)系統(tǒng),并內(nèi)嵌高可靠性半導(dǎo)體制冷芯片配合熱傳導(dǎo)性能***佳紫銅或不銹鋼鋼臺(tái)面組成,臺(tái)面區(qū)域溫度均勻性好,溫差不大于0.2度,可為光、電及光電混合芯片耦合、封裝、測(cè)試等工藝環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定而高效的恒溫環(huán)境。

TEC溫控載物臺(tái) 半導(dǎo)體溫度控制載臺(tái) TEC溫度穩(wěn)定載物臺(tái)(圖1)

調(diào)節(jié)高精度高恒溫效果佳

傳熱效率高溫度均勻性好

體積小、無噪聲、無振動(dòng)

既可制冷又可加熱溫控范圍寬

芯片固定可配夾持也可配真空吸附


名稱

型號(hào)

冷卻方式

調(diào)節(jié)維度

臺(tái)面

TEC溫控載物臺(tái)

FTS-FAT01

水冷

X、Y、R

紫銅

臺(tái)面尺寸

40mm×40mm

臺(tái)面材質(zhì)

紫銅

X軸調(diào)整范圍

±6.5mm

X軸***小刻度

10μm

Y軸調(diào)整范圍

±6.5mm

Y軸***小刻度

10μm

R軸調(diào)整范圍

粗調(diào)360°,精調(diào)5°

R軸***小刻度

粗調(diào)1°,精調(diào)5′

適用溫度范圍

-20℃~100℃

溫度分布均勻性

≤0.2℃

TEC冷卻方式

水冷

芯片固定方式

真空吸附


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