飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是的集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。

研究樣品時(shí)，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問(wèn)題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測(cè)器，飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 可以*解決上述所有問(wèn)題。

能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無(wú)論軟件、硬件都是集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 系統(tǒng)中。

Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析，檢測(cè)樣品的元素組分。此外，該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

Phenom ProX 主要技術(shù)參數(shù)