1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內(nèi)液體

2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時(shí)間、交替次數(shù)等、用單片機(jī)或PLC 控制能夠達(dá)到ms

ALD閥門

1、能夠在不到 5 ms 內(nèi)完成閥門開啟或關(guān)閉

2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評(píng)估是循環(huán)次數(shù)超過(guò)了次

3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達(dá)200°C（392°F）

源瓶

源瓶特點(diǎn)

1、所用管件采用316L不銹鋼，內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光，Ra≤0.25μm。

2、閥門采用美國(guó)世偉洛克球閥或隔膜閥。

3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。

4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≤1.0*10mba L/s。

^{_{5、可盛裝化學(xué)品純度≥99.9995%。}}

^{_{6、總殘余元素量≤50PPb。}}

ALD簡(jiǎn)圖

1、 不銹鋼真空腔體與ALD管路連接

2、 2個(gè)ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入

3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域。

4、多個(gè)球閥控制管路的通過(guò)。

5、多個(gè)旁通支路、可以通氣其他氣體或運(yùn)載氣體。

功率

3.6KW

采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配）

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，

主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

質(zhì)量流量計(jì)

真空泵

瑞典（INFICON）

  皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)