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產(chǎn)品簡介

VCF真空碳管爐型號VCF-25-21-D功率25KW電源三相380V50/60Hz加熱溫度2100℃優(yōu)點1、外形緊湊

詳細(xì)介紹

VCF 真空碳管爐	型號	VCF-25-21-D
	功率	25KW
	電源	三相 380V 50/60Hz
	加熱溫度	2100℃
	優(yōu) 點	1、外形緊湊，占地面積小 2、溫度高，溫度可到2100℃ 3、可生長出高純度的單晶 4、真空度高，標(biāo)配擴(kuò)散泵，真空度5×10^-3Pa，可選配分子泵，真空度5×10^-4Pa 5、操作簡單，設(shè)備帶有一塊10寸觸摸屏，可在觸摸屏中設(shè)置工藝，簡單便捷
	加熱碳管尺寸(mm)	Dia130(內(nèi)徑）X220
	有效加熱尺寸(mm)	Dia90×120
	腔體真空度（擴(kuò)散泵機(jī)組）	< 5×10 ^-3Pa
	腔體充氣壓力	< 0.05MPa
	升壓率	<4Pa/小時
	原理	物料在加熱區(qū)熔化后，升降機(jī)構(gòu)帶動坩堝勻速下降，坩堝通過一個均勻下降的溫度梯度場，熔融的物料晶格按照一定的順序重新排列結(jié)晶，形成有序的晶格常數(shù)。
	升降平臺	1、物料可以通過自動升降平臺到加熱區(qū) 2、升降平臺行程200mm，可以調(diào)節(jié) 3、升降平臺升降速度 0.1um-2000μm/s 4、升降平臺可自動，手動升降，也可多段速升降 5、升降平臺上下都做了限位，限度的保護(hù)設(shè)備
	軟件	可在軟件中啟動機(jī)械泵，以及各種真空閥可在軟件中設(shè)置溫度和定向凝固工藝可在軟件中設(shè)置循環(huán)水報警溫度支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄、保存、數(shù)據(jù)導(dǎo)出等
	斷偶保護(hù)和顯示	有
	過溫保護(hù)	有
	過流保護(hù)	有
	欠壓保護(hù)（水壓）	有
	控制精度	+/- 1℃
	溫度檢測方式	鎢套管鎢錸熱電偶
	升溫速率	< 20度/Min
	真空腔體內(nèi)是否水冷	是
	觀察窗尺寸	Dia 90mm
	冷水機(jī)（選配）	6P
真空機(jī)組	機(jī)組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40×1000
	真空擋板閥	KF40
	前級真空泵BSV-60	功率	2.2KW
		電壓	380V
		轉(zhuǎn)速	1450rpm
		進(jìn)氣口徑	KF25/KF40
		前機(jī)泵抽氣速率（L/S）	16
		極限壓強(qiáng)	5X10 ^-1Pa
	擴(kuò)散泵TK200	電壓	220V
		功率	2000W
		進(jìn)氣接口	DN200
		出氣接口	DN40
		注入油量	0.4L
		抽氣速率（N2）	2000L/S
	分子泵（選配）	型號	FF200/1200
		抽氣速率	1200L/S
		極限壓強(qiáng)	6×10^-6Pa
		額定轉(zhuǎn)速	24000rpm
		進(jìn)氣口法蘭	DN200
		冷卻水溫度	＜25℃
	復(fù)合真空計	復(fù)合真空計型號	ZDF
		電源	220V 55W
		控制精度	± 1%
		真空計測量范圍	10^-5-10 ⁵Pa
冷水機(jī)		電源	3PH-380V/50HZ
		制冷量	12.3*10³kcal/h
		輸入總功率	6.5KW
		揚程	30M
		水箱容量	110L
		外形尺寸	650×1400×1200
		凈重	180KG

1、結(jié)構(gòu)組成

爐體、爐蓋、爐底、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、發(fā)熱體及隔熱屏等。

2、結(jié)構(gòu)說明

1）爐體：為立式爐殼，其內(nèi)、外層均為304不銹鋼做成的圓筒，外層鏡面拋光處理。內(nèi)外筒與前后法蘭焊成一個整體，爐體開有電極孔、抽氣孔、放氣孔、熱電偶孔、紅外孔及觀察孔（爐體正面配觀察孔可以對坩堝狀態(tài)進(jìn)行觀察）等，各接口的材質(zhì)均為不銹鋼。

2）爐蓋：由內(nèi)外封頭和法蘭焊成，中間可通水冷卻，爐蓋開啟裝置。

3）爐底：由內(nèi)外封頭和法蘭組成，中間通水冷卻，下部設(shè)有充放氣孔，固定在爐體下部，設(shè)有電極引出裝置。

3、真空系統(tǒng)：

（1）主要由直聯(lián)泵、分子泵，氣動擋板閥、電磁截止閥、數(shù)顯復(fù)合真空計、真空管路、放氣閥、支架等組成；真空管道與泵之間采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接（減緩震動）。

（2）真空主抽泵直聯(lián)泵（北儀優(yōu)成）、分子泵（北京科儀）。

（3）氣動擋板閥（川北科技）GDQ-200 1臺 GDQ-J40 2臺

（4）成都睿寶數(shù)顯真空計ZDF-5227V01 1臺。

（5）真空管路1套，由波紋管、三通管、真空泵、兩個40真空擋板閥、接口彎管等組成（波紋管內(nèi)Φ40，三通管為40標(biāo)準(zhǔn)尺寸）。

4、電控系統(tǒng)：

所有控制系統(tǒng)集成在控制柜內(nèi)操作。通過PID智能控溫儀表+功率控制器可以實現(xiàn)智能調(diào)節(jié)、可靠性高，全數(shù)字電路等，電氣系統(tǒng)設(shè)有過流、過壓返饋及保護(hù)電路，電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作，控溫精度高，操作方便。

5、水冷系統(tǒng)：爐體、上下端蓋采用夾層水冷的結(jié)構(gòu)形式，在進(jìn)出水主管路上安裝水壓繼電器及壓力表，同時與控制柜連接，異常狀態(tài)時報警。能夠定性的觀察各分水路的水流大小。整個水冷系統(tǒng)確保各分路回水溫度不高于40℃（進(jìn)水溫度20℃）。水冷系統(tǒng)主進(jìn)直徑40mm、回水管直徑50mm（進(jìn)水壓力0.4MPa）。