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詳細(xì)介紹
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺(tái)搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
| HRM300L透反射半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 |
| HRM300L-M反射光半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 |
HRM300L/HRM300L-M詳細(xì)規(guī)格:
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng) | ||
| 顯微鏡鏡體 | 照明裝置 | 反射/透射光∶內(nèi)置12V、100W光源，備有光量預(yù)設(shè)開關(guān)、電壓LED指示燈、反射/透射光轉(zhuǎn)換開關(guān)(HRM300L)。 反射光∶內(nèi)置12V、100W光源，備有光量預(yù)設(shè)開關(guān)、電壓LED指示燈(HRM300L-M) | |
| 調(diào)焦 | 行程范圍：29.5毫米粗調(diào)：17.7毫米/轉(zhuǎn)，微調(diào)：0.1毫米/轉(zhuǎn)（1 um刻度），可設(shè)粗調(diào)上限停止位置，粗調(diào)旋鈕張力可調(diào) | ||
| 標(biāo)本高度 | 29.5mm | ||
| 反射光照明裝置 | 明視場(chǎng)等觀察法 | 100W鹵素?zé)?可安裝高亮度光源、光纖照明裝置)?？捎糜诿饕曇胺ㄎ⒎指缮嬉r比法/簡(jiǎn)易偏振光法，配備視場(chǎng)光闌和孔徑光闌(可調(diào)中)以及明視野法聯(lián)動(dòng)的中性密度濾色鏡。 | |
| 暗視野觀察法 | 暗視野法 | ||
| 透射光照明裝置 | 100W鹵素?zé)簦鋫浒⒇?長工作距離聚光鏡， 內(nèi)置透射光濾色鏡(LBD、ND25、ND6)(BX51) | ||
| 觀察鏡筒 | 超過寬視野F.N.25 | 正象∶三目鏡筒HM-WETR：正象型（FN 25），傾斜角為20° | |
| 換鏡轉(zhuǎn)盤 | 明視野法用 | 五孔帶DIC插孔轉(zhuǎn)盤 | |
| 明/暗視野法用 | 五孔帶DIC插孔轉(zhuǎn)盤 | ||
| 載物臺(tái) | 1.HRM300L透反射半導(dǎo)體顯微鏡配置載物臺(tái)為日本奧林巴斯載物臺(tái)（原MX61L用）： MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm （透射光照明面積：356×284mm） 2.HMR300L-M反射光半導(dǎo)體顯微鏡配置載物臺(tái)為德國載物臺(tái)：EK300：; 尺寸572（W）X 400（D）mm; 行程:305(X)X305(Y)mm; | ||
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