ULTRA QV404 363 系列 — 超高精度 CNC 影像測量機

 ULTRA QV404是實現(xiàn)了測量精度 E1xy=(0.25+L/1000)μm的超高精度CNC影像 測量機。

• 為了將直線度誤差控制至最小，X、Y、Z3 軸移動方式采用了高精度三坐標等使用的 空氣軸承。 • 通過FEM(有限要素法)解析后的設(shè)計實 現(xiàn)了本體的高剛性化。 • 作為基準的測長方式采用了分辨力為0.01μm 的光學(xué)式線性編碼器。 該編碼器的線性膨脹系數(shù)為零，將溫度變 化產(chǎn)生的誤差控制到最小限度。 • 滿足ISO10360-7:2011(JIS B7440-7.2015)的精 度保證。