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1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)--OTF-1200X- S50- 2F

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更新時(shí)間:2026-01-09 17:51:21瀏覽次數(shù):209

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳細(xì)介紹: OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃

詳細(xì)介紹

  產(chǎn)品詳細(xì)介紹:

  OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì),右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機(jī)械泵相連接(抽速為226L/m)。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。

  技術(shù)參數(shù):

 

殼體

· 采用雙層殼體

· 爐膛采用多晶氧化鋁纖維,減小能量損失

· 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率 

    1.75KW

電壓

  AC -220V 

溫度

· 工作溫度:1200℃(< 1hr)

· 連續(xù)工作溫度1100 ℃

· 升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區(qū)

加熱區(qū)長度: 8" (200mm)

溫控系統(tǒng)

· PID30段程序化控溫

· 控溫精度: +/- 1℃  

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長使用壽命)

兩路混氣系統(tǒng)

· 兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 —100mL/min 

· -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

· 三個(gè)機(jī)械壓力表:-0.1-0.15 MP

· 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥

· 后端裝有φ6.35卡套接頭,無需通電

· 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

· 凈重: 14 lbs.

 

     

真空法蘭和配件

標(biāo)準(zhǔn)真空配件:

· 一個(gè)防腐型真空計(jì)

· 一個(gè)φ6.35的卡套接頭

· 兩個(gè)KF25轉(zhuǎn)接頭

· 一個(gè)600mm的不銹鋼波紋管

防腐型真空計(jì)

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

 

真空泵

我公司有多種真空泵可選,請(qǐng)點(diǎn)擊圖片,或是致電我公司銷售

 

產(chǎn)品凈重

     100 lbs

產(chǎn)品尺寸

· 爐體:340 x 300 x 400mm

· 真空泵:440 x 160 x 300mm

· 混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm

運(yùn)輸重量

  200lbs

開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

 

    

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件)

質(zhì)量認(rèn)證

· CE認(rèn)證

· 所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證

· 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證   

 

使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

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