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1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳細(xì)介紹: OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

  產(chǎn)品詳細(xì)介紹:

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

  技術(shù)參數(shù):

 

高溫爐殼體

· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃

· 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

     2.5 KW

電壓

 AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長使用壽命)

工作溫度

   1200℃

連續(xù)工作溫度

  1100℃

升溫速率

  ≤20 ℃

爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區(qū)長度

400 mm

控溫系統(tǒng)

PID30段程序化控溫  

控溫精度

 +/- 1 ℃

真空密封系統(tǒng)

 

兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),漏氣率6 mtorr/min

 


真空泵

采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。

防腐型真空計(jì)


可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

 

混氣系統(tǒng)

 

· 三個(gè)浮子流量計(jì)

· 三路浮子量程分別為

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 內(nèi)部安裝有一混氣罐 

尺寸

· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

· 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重

· 約60kg

開門斷電

· 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

     

運(yùn)輸重量

·     200

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

·   CE Certificate 

 

使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

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