一、工作原理

 AO910系列擴散硅壓力傳感器系全部采用進口芯片，經(jīng)過精心的結構設計，信號處理和組裝，并按照國家標準和企業(yè)標準，進行測試而生產(chǎn)出來的新一代測量元件。基本原理是利用半導體的壓阻效應和微機械加工技術，在單晶硅片的特定晶向上，用光刻、擴散等半導體工藝制做一惠斯登電橋，形成敏感膜片，當受到外力作用時產(chǎn)生微應變，電阻率發(fā)生變化，使橋臂電阻發(fā)生變化（一對變大一對變?。┰诩铍妷盒盘栞敵?，經(jīng)過計算機溫度補償、激光調(diào)阻、信號放大等處理手段和嚴格的裝配檢測、標定等工藝，生產(chǎn)出具有標準輸出信號的壓力變送器。

二、特點

1、輸出穩(wěn)定靈敏度高

 一般應變式傳感器輸出僅為10mv左右，而擴散硅傳感器滿量程輸出為100mv左右，干擾及噪聲等因素影響相對較小，放大電路成本也相應降低，分辨率大大提高。零壓力附近無死區(qū)。

2、精度高，重復性好

 擴散硅壓阻式壓力傳感器實現(xiàn)了壓力受感，壓力傳遞力一電轉換由同一元件上實現(xiàn)，無中間轉換環(huán)節(jié)，無壓力滯后，無機械位移變形，保證了極小的重復性和遲滯誤差，和良好的線性度，無蠕變、穩(wěn)定、可靠、壽命長。

3、良好的溫度特性

 由于采用了激光調(diào)阻，計算機補償?shù)燃夹g和巧妙控制擴散濃度，實現(xiàn)滿量程溫度漂移（靈敏度溫度系數(shù)）自補償?？朔税雽w晶片本身溫度系數(shù)大的缺陷，使變送器的零位和滿度溫漂達到了較高的水準，拓寬了使用溫區(qū)。

4、適合于危險易爆的領域和場所應用

 擴散硅壓力傳感器，變送器具有低電流，低電壓，低功耗的特點，屬于本質(zhì)安全防爆型產(chǎn)品，并已取得了國家安全防爆機構頒發(fā)的防爆證書。

5、高可靠性與抗干擾性能

 產(chǎn)品由于采用了不銹鋼材質(zhì)與特殊防護結構，和放大電路的防雷擊、抗干擾、抗過壓、過流等一系列保護手段，提高了可靠的密封防腐和抗惡劣工作環(huán)境的能力，適合一般工業(yè)現(xiàn)場測量和控制的需要。

三、技術參數(shù)

1、技術指標

2、性能指標

3、結構指標

四、結構尺寸

AO910工業(yè)型擴散硅壓力變送器

AO910X精巧型擴散硅壓力變送器

赫斯曼接頭L≤150

其它引線方式L≤120

AO910Y小型化擴散硅壓力變送器

AO910Z衛(wèi)生型擴散硅壓力變送器(平面膜結構)