羅茨螺桿泵真空機組是以ZJ型或ZJP型羅茨真空泵為主泵或中間泵，以LG螺桿真空泵為前級泵的成套高真空獲得設備，其結構緊湊，操作方便。機組除了主泵及前級泵或中間泵外，還包括連接管道、不銹鋼波紋管、電接點壓力表和電氣控制箱等附件。一般羅茨真空泵和螺桿真空泵安裝在同一機架上（大型機組除外），具體見“機組外形尺寸"部分。

      目前機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統(tǒng)被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級LG螺桿泵起動后開始對系統(tǒng)進行預抽,當系統(tǒng)壓力（即羅茨泵進氣口處壓力）達到允許羅茨泵啟動的設定壓力（即電接點壓力表綠針所指壓力值）時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發(fā)生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現(xiàn)羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現(xiàn)過載和過熱而導致機組發(fā)生故障。

      本型號羅茨螺桿泵真空機組配用的前級泵，主要表現(xiàn)在振動小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運轉時可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優(yōu)點，從而保證了機組具有良好的抽氣效率。