一、產(chǎn)品介紹

    S4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。

二、產(chǎn)品特點

·傳感器靈敏度高，有極小的始動流量

·傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

·在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高

·傳感器的零點穩(wěn)定度高

·全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

·低功耗、低壓損

·響應(yīng)速度快

技術(shù)參數(shù)