量程款，測量流速范圍廣，可帶流量控制功能。

概 述
F400系列采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量測量和控制。可應用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
特 點
◎模擬式熱質式流量計/流量控制器
      -低單價                            
      -環(huán)境溫度補正
      -可應用的流速范圍廣：
      -0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
      -0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
◎高精度
      ±1%（≤15SLM）
      ±1.5%（>15SLM）
◎可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應、流量設定等功能
典型應用    
空氣、氮氣、氬氣、氧氣、氦氣、二氧化碳等。