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IGS金屬隔膜閥

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更新時(shí)間：2026-03-10 14:19:17瀏覽次數(shù)：144

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用于IGS的高純度金屬隔膜閥，采用二次熔煉的SUS316L作為閥體材質(zhì)，有多種接口（C-seal和W-seal）可供選擇。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢(shì)

? 高純度工藝供氣生產(chǎn)線
? 閥體材質(zhì)選用二次熔煉的SUS316L，安全可靠
? W-seal和C-seal 可供選擇

技術(shù)參數(shù)

尺寸

SEMI F83-0304
1.125" W seal
2 Port

SEMI F84-0304
1.125" W seal
3 Port

SEMI F86-0304
1.125" C seal
2 Port

Cv value( Cv值)

0.24

0.24

0.27

使用壓力

1.0MPa(G)

　使用溫度范圍

-10～80℃

  外部泄露

≦3x10-12 Pa?m3/sec Helium

 閥座泄露

≦3x10-10 Pa?m3/sec Helium

 

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