納米技術(shù)檢測(cè)服務(wù)平臺(tái)是一種與眾不同的解決方案，它將mibot納米技術(shù)機(jī)械臂變化為強(qiáng)勁的納米技術(shù)探針，用以sem中集成電路工藝和材料的原位電特性表征。納米技術(shù)機(jī)械臂精心策劃以盡量避免對(duì)測(cè)定數(shù)據(jù)信號(hào)的干撓，泄露電流可低至100 fa/v。屏蔽電纜將每一攝像頭從演出舞臺(tái)聯(lián)接到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的引出線射頻連接器。這一服務(wù)平臺(tái)容許您在好多個(gè)mm的工作中室內(nèi)空間上單獨(dú)置放高達(dá)4個(gè)探針，像素達(dá)到納米技術(shù)。*后但并不是*不關(guān)鍵的是，演出舞臺(tái)緊湊型的設(shè)計(jì)方案促使這類解決方案以至于對(duì)這些光學(xué)顯微鏡有一個(gè)小真空室的人而言都是行得通的。



 形象化的原位低電流量電氣測(cè)定。將探針**與集成電路芯片觸碰，測(cè)定集成化元器件的電氣特性并防護(hù)缺點(diǎn)。 Imina Technologies的Nanoprobing SEM解決方案是微電子器件電氣特性和原位半導(dǎo)體材料常見故障剖析的交鑰匙工程。

 *多能夠出示多種多樣配備的miBot™納米技術(shù)過濾裝置，以融入顧客的運(yùn)用規(guī)定和機(jī)器設(shè)備。 miBot™是一款杰出的便于應(yīng)用且作用繁多的壓電驅(qū)動(dòng)器小型智能機(jī)器人，可使您將攝像頭精準(zhǔn)定位在mm級(jí)試品上，像素低至氧化硅。這種納米技術(shù)探針的4個(gè)可玩性使作業(yè)者可以在試驗(yàn)期內(nèi)非常容易地調(diào)整探針的趨向。

 環(huán)形服務(wù)平臺(tái)能夠安裝在SEM試品精準(zhǔn)定位臺(tái)子上，還可以根據(jù)SEM載入鎖載入。包裝出示了一套電源適配器，基本上能夠?qū)σ磺蠸EM開展更新改造，即便是這些含有小腔室的SEM。

 致力于低電流量測(cè)定而設(shè)計(jì)方案，納米技術(shù)構(gòu)造的電氣特性可根據(jù)屏蔽電纜與第三方開關(guān)電源表模塊（SMU）和數(shù)據(jù)信號(hào)檢測(cè)儀開展，具備優(yōu)異的信噪比。

 上等的原位前置放大器和掃描儀超聲波發(fā)生器與Nanoprobing解決方案適配，可實(shí)行定量分析EBIC和低噪音EBAC / RCI剖析。

 盡管安裝和拆裝演出舞臺(tái)安裝版本只需十多分鐘并且不用長(zhǎng)期性地改動(dòng)光學(xué)顯微鏡的腔室，可是載入鎖住適配版本出示了*高的貨運(yùn)量來拆換被測(cè)機(jī)器設(shè)備和攝像頭**防止開啟腔室的必須。

 以智能機(jī)器人服務(wù)平臺(tái)為基地的直徑合適多種類型的SEM短截線，讓您能夠像之前一樣觀查試品。