產(chǎn)品簡介 瀏覽同類商品上一頁:卷對(duì)卷石墨烯連續(xù)生長設(shè)備產(chǎn)品名稱:迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(型號(hào):BTF-1200C-R-S-PECVD)產(chǎn)品詳細(xì)介紹主要特點(diǎn)本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料
詳細(xì)介紹 瀏覽同類商品上一頁: 卷對(duì)卷石墨烯連續(xù)生長設(shè)備 產(chǎn)品名稱: 迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(型號(hào): BTF-1200C-R-S-PECVD) 產(chǎn)品詳細(xì)介紹 主要特點(diǎn) 本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料,是目前Z的金屬復(fù)合材料制備設(shè)備??梢杂糜趧?dòng)力電池,提升電池內(nèi)阻和能量密度,有效解決新能源汽車電池的問題。 1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻; 2.可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間。 3.該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn),針對(duì)低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。 技術(shù)參數(shù) 1、加熱系統(tǒng): 型號(hào) BTF-1200C-R-S-PECVD 顯示模式 10"液晶觸屏顯示 Z高溫度 1100℃ 升溫速率 10℃/S 控溫精度 ±1℃ 加熱元件 電阻絲 熱電偶 K型 控溫方式 10"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 爐管尺寸 Φ25*800mm (中間部位尺寸Φ50*225) 爐管轉(zhuǎn)速 3~13r/min 傾斜角度 0~35° 加熱功率 2KW 2、射頻電源 信號(hào)頻率 13.56 MHz±0.005% 功率輸出范圍 0W~100W Z大反射功率 100W 射頻輸出接口 50 Ω, N-type, female 功率穩(wěn)定度 ≤5W 諧波分量 ≤-50dbc 供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ 整機(jī)效率 >=70% 功率因素 >=90% 冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷 3、四路質(zhì)子流量控制系統(tǒng) 外形尺寸 600x600x650mm 連接頭類型 雙卡套不銹鋼接頭 標(biāo)準(zhǔn)量程(N2) 50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm(量程和數(shù)量可選) 準(zhǔn)確度 ±1.5%F.S 線性 ±1%F.S 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 響應(yīng)時(shí)間 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍 0.1~0.5 MPa Z大壓力 3MPa 接口 Φ6,1/4'' 顯示 4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度 5~45高純氣體 壓力真空表 -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥 Φ6 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 Φ6 4、低真空機(jī)組 空氣相對(duì)濕度 ≤85% 工作環(huán)境 5℃~40℃ 工作電電壓 220V±10% 50~60HZ 功率 1KW 抽氣速率 10m3/h 實(shí)驗(yàn)真空 10-1Pa 工作壓力范圍 1.01325X105~1.33X10-2Pa 耐壓值 0.03MPa 容油量 1.1L 進(jìn)氣口口徑 KF25 排氣口口徑 KF25 噪音 50dB 外形尺寸 600×600×600mm 連接方式 采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 配用規(guī)管 ZJ-52T電阻規(guī) 測量范圍 10 5 ~10 -1 Pa 控制方式 5×10 3 ~5×10 -1 Pa 控制方式 繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載 通訊接口 USB 外形尺寸 1000*400*720mm