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重慶開衡科技有限公司>>PECVD系統(tǒng)>>迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(型號(hào): BTF-1200C-R-S-PECVD)

迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(型號(hào): BTF-1200C-R-S-PECVD)

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產(chǎn)品簡介

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詳細(xì)介紹

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  • 產(chǎn)品名稱: 迷你智能型等離子體可回轉(zhuǎn)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(型號(hào): BTF-1200C-R-S-PECVD)


    • 產(chǎn)品詳細(xì)介紹

    主要特點(diǎn)

    本款設(shè)備可以做金屬復(fù)合石墨烯材料,是目前Z的金屬復(fù)合材料制備設(shè)備??梢杂糜趧?dòng)力電池,提升電池內(nèi)阻和能量密度,有效解決新能源汽車電池的問題。

    1.該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

    2.可左右大角度傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間。

    3.該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD),連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,配備真空系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)低壓條件下的實(shí)驗(yàn),針對(duì)低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

    技術(shù)參數(shù)

    1、加熱系統(tǒng):

    型號(hào)

    BTF-1200C-R-S-PECVD

    顯示模式

    10"液晶觸屏顯示

    Z高溫度

    1100℃

    升溫速率

    10℃/S

    控溫精度

    ±1℃

    加熱元件

    電阻絲

    熱電偶

    K型

    控溫方式

    10"液晶觸屏與工控儀表雙重控溫,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

    爐管尺寸

    Φ25*800mm (中間部位尺寸Φ50*225)

    爐管轉(zhuǎn)速

    3~13r/min

    傾斜角度

    0~35°

    加熱功率

    2KW


    2、射頻電源

    信號(hào)頻率

    13.56 MHz±0.005%

    功率輸出范圍

    0W~100W

    Z大反射功率

    100W

    射頻輸出接口

    50 Ω, N-type, female

    功率穩(wěn)定度

    ≤5W

    諧波分量

    ≤-50dbc

    供電電壓

    單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

    整機(jī)效率

    >=70%

    功率因素

    >=90%

    冷卻方式

    強(qiáng)制風(fēng)冷

    3、四路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

    外形尺寸

    600x600x650mm

    連接頭類型

    雙卡套不銹鋼接頭

    標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

    50sccm,50sccm,200sccm,and 500sccm(量程和數(shù)量可選)

    準(zhǔn)確度

    ±1.5%F.S

    線性

    ±1%F.S

    重復(fù)精度

    ±0.2%F.S

    響應(yīng)時(shí)間

    氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

    工作壓差范圍

    0.1~0.5 MPa

    Z大壓力

    3MPa

    接口

    Φ6,1/4''

    顯示

    4位數(shù)字顯示

    工作環(huán)境溫度

    5~45高純氣體

    壓力真空表

    -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

    截止閥

    Φ6

    內(nèi)外雙拋不銹鋼管

    Φ6

    4、低真空機(jī)組

    空氣相對(duì)濕度

    ≤85%

    工作環(huán)境

    5℃~40℃

    工作電電壓

    220V±10% 50~60HZ

    功率

    1KW

    抽氣速率

    10m3/h

    實(shí)驗(yàn)真空

    10-1Pa

    工作壓力范圍

    1.01325X105~1.33X10-2Pa

    耐壓值

    0.03MPa

    容油量

    1.1L

    進(jìn)氣口口徑

    KF25

    排氣口口徑

    KF25

    噪音

    50dB

    外形尺寸

    600×600×600mm

    連接方式

    采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

    配用規(guī)管

    ZJ-52T電阻規(guī)

    測量范圍

    10 5 ~10 -1 Pa

    控制方式

    5×10 3 ~5×10 -1 Pa

    控制方式

    繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

    通訊接口

    USB

    外形尺寸

    1000*400*720mm


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