制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
主要特點(diǎn)
滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長(zhǎng)溫度更低。
2.使用滑軌爐實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。
3.設(shè)備的技術(shù)使得整管輝光均勻等效，均勻生長(zhǎng)。
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品型號(hào)： | BTF-1200C-SL-PECVD |
| 實(shí)驗(yàn)機(jī)理： | PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單。 |
| 技術(shù)參數(shù)： | 開(kāi)啟式真空管式滑軌爐 反應(yīng)腔體尺寸：Φ50，Φ60，Φ80，Φ100 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ Z高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速率：10℃/min 爐門(mén)結(jié)構(gòu)：開(kāi)啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：3KW |
| 真空泵和閥門(mén) 采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥； 真空度可達(dá)10-3torr； 數(shù)顯真空測(cè)試儀可直觀的顯示數(shù)值。 | |
| 質(zhì)量流量計(jì)控制氣路系統(tǒng)（可來(lái)圖訂制） 內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量； 氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%； 一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥； 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入。 | |
| 射頻電源與匹配器 電源：?jiǎn)蜗?/span>50/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開(kāi)關(guān)：32A空氣開(kāi)關(guān) 薄膜生長(zhǎng)室溫度：室溫~ 1200℃ 射頻頻率：13.56MHz 射頻功率輸出范圍：5~500W | |
| 細(xì)節(jié)展示 | |
| 外型尺寸： | 爐體：550×380×600mm 爐體加滑軌1500x380x620mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm |
| 凈重： | 150Kg |
| 認(rèn)證和 | CE認(rèn)證 號(hào)：ZL.0 （產(chǎn)品 ，防偽必究） |
制藥網(wǎng)
临江市|
体育|
台南县|
吴江市|
赣榆县|
连江县|
平陆县|
靖安县|
依安县|
灵寿县|
浦江县|
凉山|
政和县|
清徐县|
南城县|
海宁市|
新乡县|
沅陵县|
逊克县|
余庆县|
鄱阳县|
灵武市|
元谋县|
林甸县|
成都市|
五寨县|
新密市|
景德镇市|
通渭县|
都江堰市|
封开县|
常山县|
信阳市|
灌阳县|
敖汉旗|
昌都县|
华坪县|
壶关县|
饶河县|
上杭县|
襄城县|