氣路系統(tǒng)參數(shù)：

質(zhì)量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

Z大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統(tǒng)參數(shù)：

國產(chǎn)油泵型號：BSV-10

抽速：10m3/h

極限真空度：5*10-1pa

電源：220v 50hz

電機功率：0.4kw

進排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機轉(zhuǎn)速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計參數(shù)：

1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)，

2.測量范圍： 10 ⁵ ～10 ^-1 Pa，

3.測量路數(shù)： 1路

4.控制范圍： 5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa，

5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

射頻源主要參數(shù)：

信號頻率：13.56 MHz±0.005%

功率輸出范圍：0-500W

Z大反射功率:100W

射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定性：≤5W

諧波分量：≤-50dbc

供電電壓：單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ

整機效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷卻方式：強制風(fēng)冷

備注：可根據(jù)腔體大小選擇射頻源功率。