溫場(chǎng)

兩個(gè)獨(dú)立溫場(chǎng)

Z高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

爐管

高純度石英管Φ50x1400mm（可根據(jù)要求設(shè)計(jì)）

加熱區(qū)長(zhǎng)度

200+200mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

供氣系統(tǒng)

外形尺寸

600x600x650mm

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)

100sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制）;準(zhǔn)確度：±1.5%;線性：±0.5～1.5%;重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

Z大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

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工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

真空機(jī)組

空氣相對(duì)濕度

≤85%

工作電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m3/H

極限真空

4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度

1.0X10-1Pa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

轉(zhuǎn)速

1450rpm