真空等離子清洗機

(1) 產(chǎn)品介紹 

該設備為一種新型小型一體化等離子清洗氧化設備，可用于工件的清洗，氧化處理。

(2) 特點

1. 配備高真空機械油泵，極限真空度可達到0.1 Pa，抽速>3 l/s；

2. 配備兩個氣體輸入口，并配備流量計和針型閥進行流量和真空度控制，標配流量量程100 ml/min，真空度10 Pa以上可調(diào)；

3. 標配射頻等離子源頻率13.56 MHz（可選配40 KHz），標配功率100 W（可選配其他功率），調(diào)節(jié)精度1 W；

4. 不銹鋼等離子腔體尺寸為~?150*240 mm，腔體內(nèi)部光滑處理，配有相應的法蘭接口和氣體進口，及其它輔助安裝口；

5. 工作臺尺寸為：140 mm*200 mm，高度80 mm，可放置小于該尺寸的樣品；

6. 真空采用電阻真空計和相應的壓力控制儀測量，測量范圍10^-1~10⁵ Pa，精度1%；

7. 不銹鋼等離子腔體采用正面開門式結(jié)構，蓋上配有觀察窗，操作方便。