分析從極小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。借助*大 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和*高 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測(cè)大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等......

大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點(diǎn)：

 

兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分   利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和*高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。

Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。

借助自動(dòng)聚焦硬件，您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。

Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。

                 晶圓