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詳細介紹
KosakaET150臺階儀
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，也是日本發(fā)表光學杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定也占有一席無法被取代的地位。
KOSAKAET150基于WindowsXP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET150配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。
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