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詳細(xì)介紹
安捷倫 VacIon 離子泵
微型 Vaclon 離子泵采用二極泵結(jié)構(gòu)，并提供大約 0.4 L/s 的氮氣抽速。2 L/s 型號采用改進(jìn)型二極泵結(jié)構(gòu)，能提高在低壓下啟動的能力。10 L/s 泵采用惰性氣體優(yōu)化的二極離子泵結(jié)構(gòu)，對氫氣之類殘余氣體具有較高效率。對惰性氣體的抽速約為額定抽速的 20%。當(dāng)需要不同的入口管線長度、角度和直徑時，可選擇訂制型標(biāo)準(zhǔn)泵。這些泵還可以對高壓真空密封穿導(dǎo)件、泵體幾何尺寸和泵單元布局等進(jìn)行定制?？蔀樵谀承╊I(lǐng)域有特殊要求的客戶按照特定測試流程報價。
離子泵的發(fā)展史
從上世紀(jì)五十年代，由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來，越來越多的新設(shè)計和新技術(shù)投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即現(xiàn)在的安捷倫科技。從一臺二極型離子泵，到三極型離子泵，再到Starcell 系列產(chǎn)品乃至世界聞名的VacIon Plus 產(chǎn)品家族等。
VacIon Plus
— VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產(chǎn)品家族，包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件。可為各種應(yīng)用提供相應(yīng)解決方案。除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外，安捷倫科技還為特定應(yīng)用提供包括電源及相關(guān)附件在內(nèi)的專屬解決方案，以滿足用戶對起始工作壓強(qiáng)、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標(biāo)的特殊要求。
— VacIon Plus 離子泵產(chǎn)品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以及Starcell 三極型泵在內(nèi)的全系列產(chǎn)品，以超高真空獲得技術(shù)為眾多應(yīng)用領(lǐng)域服務(wù)。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外，4UHV和 IPCMini 離子泵控制器則為不同應(yīng)用提供了更為豐富的選擇。
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