小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫；

? 可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力；

? 可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；

? 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

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? 溫度：1100℃（<>

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）。

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷(xiāo)售部

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

? 凈重：160 kg

? 運(yùn)輸重量：220 kg 

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）