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北京壯仕科技有限公司>>其他配套設(shè)備>>1200℃三溫區(qū)PE粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)OTF-1200X-III-R5-PECVD

1200℃三溫區(qū)PE粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)OTF-1200X-III-R5-PECVD

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更新時(shí)間:2026-07-14 08:16:07瀏覽次數(shù):63

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備名稱(chēng) 1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)(2019

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱(chēng)

1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) (2019.10.31-科晶實(shí)驗(yàn)室審核)


產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示


產(chǎn)品特點(diǎn)

? 爐體在0 - 25°內(nèi)傾斜,有利于粉末樣品的裝卸;

? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

? 配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn),可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。


加熱爐參數(shù)

三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐

? 溫度:1200℃(<>

? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

? 輸入功率:208-240 V,單相,功率:4 KW;

? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:2-10 rpm;

? 爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。


三溫區(qū)管式爐.jpg     圖片1.jpg



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷(xiāo)售部


射頻電源

300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg


真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 設(shè)備尺寸:2800mm L× 800mm W×1700mm H

? 供氣系統(tǒng):600mm L×700mm W×700mm H

? 凈重:180 kg 


設(shè)備尺寸.jpg


認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證

圖片1.png


承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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