輸入電源：220VAC 50/60Hz

濺射電流：0-150 mA可調(diào)

功率：＜2KW

輸出電壓：1600VDC

采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H

密封：采用O形密封圈密封

2英寸帶水冷的磁控濺射頭（注意：水冷機不是標(biāo)配）另有1英寸靶頭可選（圖一）

一個直徑50mm不銹鋼樣品臺，樣品臺可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào) （圖五）

安裝有一可手動操作的濺射擋板（圖二、三）

樣品臺和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：30-80mm（圖二、三）

靶頭支架，可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭（圖四）

                       實驗效果

6" PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度

安裝有KF25真空接口

數(shù)字真空壓力表（Pa）

此系統(tǒng)運行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）

采用機械泵<1.0e-2>

采用渦旋分子泵<1.0e-5>

可在本公司選購各種真空泵

含一個控制進氣的針閥和一個放氣閥

本設(shè)備接氣需要安裝減壓閥（可在我公司選購減壓閥）

靶材尺寸要求：Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)

適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金屬（可在我公司選購）

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上（見圖一）

可選加熱樣品臺，可加熱500℃（見圖二、三）

可選浮子流量計來精確控制進氣量（見圖四）

L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

凈重：20 kg（不包含泵及水冷機）

認證

一年保修，終身技術(shù)支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

點擊查看售后服務(wù)承諾書。

對于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實驗所設(shè)置的參數(shù)（參考值，詳情請點擊）

有時為了達到理想的薄膜厚度，需要多次濺射鍍膜

在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈

要達到薄膜與基底良好結(jié)合，請在濺射前清潔基材表面

超聲波清洗（詳細參數(shù)點擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4）真空烘箱除去水分

等離子清洗（詳細參數(shù)點擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物

制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力

此濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射

注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體。

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。

濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶