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詳細介紹
- 主要特點-
尺寸小巧；
埃米級分辨率；
有1、2或3通道可配電渦流探頭；
可配13種電渦流探頭；
工作溫度：0～70oC(補償范圍15～55oC) 符合CE和RoHS標準；
輸出負載電流<20mA(有短路和過載保護)；
供電電壓：15～30V，<50ma(有容錯保護、短路保護)。
-應用領域-
光學平臺位置測量、半導體和光器件的研磨、半導體模板對齊系統、蒸鍍系統、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的精確定位、鏡片控制、物質收縮測試測量、機械結構變形探測與測試。
- 技術規(guī)格-
- 測量原理-
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