• 亞納米的分辨率；

• 線性度可達(dá)0.02%；

• 測量帶寬可調(diào)（50HZ，500Hz或5kHz）；

• 放大器增益可調(diào)（在不必使用滿量程的情況下）；

• 可選擇長（“L"）或短（“-S"）測量量程（2pF或10pF電容）；
  

磁盤驅(qū)動器磁頭測試；

膜/晶圓夾頭對齊；

掃描探針顯微技術(shù)；

光腔調(diào)整；

干涉測量；

注意：

①、 負(fù)電源，于2100-20型號中。

②、 量程可調(diào)在內(nèi)降低性能的情況下。

③、 G就是距離的意思，比例因子是通過側(cè)面面板的選擇開關(guān)來調(diào)整。

④、 PPM是指每百萬分之一距離變化。

⑤、 線性誤差取決于傳感器安裝精度0.02%的線性誤差是可以實(shí)現(xiàn)的。請聯(lián)系真尚有公司洽談詳情。

⑥、 帶寬是通過側(cè)面面板的選擇開關(guān)來調(diào)整。

⑦、 典型的，取決于執(zhí)行機(jī)構(gòu)。

⑧、 只限于開環(huán)控制。

⑨、 一般情況。

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