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殘余氣體分析儀 PrismaPro

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級(jí)桿質(zhì)譜儀)集高靈敏度, 高穩(wěn)定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評(píng)估真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分. 可檢測(cè)分壓 3 X10^-15 hPa.

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設(shè)計(jì)保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統(tǒng)集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長(zhǎng)工作時(shí)間
可檢測(cè)分壓 3 X10^-15 hPa
可直接連接真空計(jì), 方便測(cè)量壓力

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測(cè)器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質(zhì)量數(shù) amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極桿直徑／長(zhǎng)度	6 /125 mm
最小檢測(cè)極限 F hPa *^1,2	4X10^-13	5X10^-13	7X10^-13	-		-	-
最小檢測(cè)極限 M hPa *^1,2	-	-	-	3X10^-15		4X10^-15	5X10^-15
對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*³	5X10^-4	4X10^-4	3X10^-4	5X10^-4		4X10^-4	3X10^-4
工作壓力 F hPa	5X10^-4
工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10^-5		5X10^-5	5X10^-5
對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響^*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度電子	5 – 50 °C
烘烤溫度分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時(shí)間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* ¹開放式離子源,
* ²停留時(shí)間 4秒
*³與C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口:

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴(kuò)展的通訊接口:

Pfeiffer 殘余氣體分析儀結(jié)構(gòu)視頻

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