電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水

1 、主題內(nèi)容與通用范圍

本標(biāo)準(zhǔn)給出了電力半導(dǎo)體器件工藝用高純水（以下稱高純水）的級(jí)別、技術(shù)要求、測(cè)試方法和規(guī)則。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于去離子處理后的高純水。

2 、引用標(biāo)準(zhǔn)：GB11446電子級(jí)水及其檢測(cè)方法。

3 、術(shù)語(yǔ)

3.1 電導(dǎo)率 Electrical conductivity

在規(guī)定溫度下，1cm3水溶液兩相對(duì)面之間測(cè)得的電阻值的倒數(shù)。電導(dǎo)率通常以μS/cm為單位。

純水的理論電導(dǎo)率為0.05482 μs/cm (25℃時(shí))。

3.2 電阻率 Resistivity，電導(dǎo)率之倒數(shù)。

純水的理論電阻率為18.248 MΩ.cm (25℃時(shí))。溫度升高時(shí)電阻率下降。

3.3 總?cè)芙庑怨腆w Total dissolved solids（TDS）

水中溶解物質(zhì)的總含量，包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質(zhì)、病毒、細(xì)菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。

3.4 總硬度（DH值）

水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。

硬度一般以德國(guó)標(biāo)示法為準(zhǔn)，計(jì)為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。