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TL1400 CVD系統(tǒng)

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更新時間:2025-10-23 10:04:05瀏覽次數(shù):101

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產(chǎn)品簡介

本公司生產(chǎn)的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列電阻爐均采用雙層殼體結構,標配30段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫

詳細介紹

本公司生產(chǎn)的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列電阻爐均采用雙層殼體結構,標配30 段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫。該爐具有溫場均衡、表面溫度低、 升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結、金屬退火、質量檢測用的理想產(chǎn)品。




全系列電阻爐組件配置:


一、TL1400 CVD系統(tǒng)控溫儀表: 采用宇電程序控溫儀表。(可選配日本島電,英國歐陸等進口品牌)


1、30段程序控溫智能PID調節(jié)。(可選配50段程序儀表或液晶觸摸屏儀表)


2、具有過溫保護、斷偶保護,過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。


3、帶有485通訊接口(選購軟件時標配)


4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。


5、儀表具有溫度自整定的功能。


二、開門保護系統(tǒng):該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者。  


三、爐膛材料: 采用氧化鋁多晶纖維材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。


四、加熱元件:  采用優(yōu)良的加熱元件, 溫場均衡、使用壽命長。      


五、漏電保護功能: 該爐裝了漏電空氣開關,當爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關閉以切斷電源。


六、軟件控制系統(tǒng)(選購):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調出。


七、控制系統(tǒng):1、電器:正泰,   2、可控硅:德國西門康106/16E,  3 觸發(fā)器:移相觸發(fā)。


八、選配件:1、50段程序控溫,   2、液晶觸摸屏控制器或進口溫度控制器      3、爐膛尺寸可定做    


4、可增加進氣、排氣閥門   5、爐膛材料可選進口材料   6、可選UL認證電器板  


7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品  8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標型號產(chǎn)品




TL1400 CVD系統(tǒng)產(chǎn)品描述:


CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng),采用雙層殼體結構和30段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料。供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。


TL1400 CVD系統(tǒng)技術參數(shù):


1.額定溫度:1350℃                         2.高溫度:1400℃


3.電壓:220V                               4.加熱段:300mm    


5.加熱元件:硅碳棒                       6.熱電偶:S型        


7.溫控方式:智能化30段可編程控制          


8.升溫速率:≤20℃/min       推薦升溫速率: ≤10℃/min  




型號


TL1700-C-I


TL1700-C-II


TL1700-C-III


爐管尺寸


Φ60X1000


Φ80X1000


Φ100X1000


功率(KW)


5


5


6






7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品  8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標型號產(chǎn)品


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