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天津瑪福爾科技有限公司>>>>VTL1700立式CVD系統(tǒng)

VTL1700立式CVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2025-10-23 09:58:22瀏覽次數(shù):122

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本公司生產(chǎn)的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列電阻爐均采用雙層殼體結(jié)構(gòu),標(biāo)配30段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫

詳細(xì)介紹

本公司生產(chǎn)的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列電阻爐均采用雙層殼體結(jié)構(gòu),標(biāo)配30 段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫。該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、 升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)用的理想產(chǎn)品。


本公司承接各種要求的非標(biāo)爐子的定做,歡迎。聯(lián)系電話鄒經(jīng)理,微信同號(hào)。



全系列電阻爐組件配置:


一、控溫儀表: 采用宇電程序控溫儀表。(可選配日本島電,英國(guó)歐陸等進(jìn)口品牌)


1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。(可選配50段程序儀表或液晶觸摸屏儀表)


2、具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù),過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路會(huì)自動(dòng)切斷,(當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí),主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。


3、帶有485通訊接口(選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配)


4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。


5、儀表具有溫度自整定的功能。


二、開門保護(hù)系統(tǒng):該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源,有效地保證使用者。  


三、爐膛材料: 采用氧化鋁多晶纖維材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡,抗熱漲冷縮能力強(qiáng)。


四、加熱元件:  采用優(yōu)良的加熱元件, 溫場(chǎng)均衡、使用壽命長(zhǎng)。      


五、漏電保護(hù)功能: 該爐裝了漏電空氣開關(guān),當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時(shí)空開會(huì)自動(dòng)關(guān)閉以切斷電源。


六、軟件控制系統(tǒng)(選購(gòu)):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出。


七、控制系統(tǒng):1、電器:正泰,   2、可控硅:德國(guó)西門康106/16E,  3 觸發(fā)器:移相觸發(fā)。


八、選配件:1、50段程序控溫,   2、液晶觸摸屏控制器或進(jìn)口溫度控制器      3、爐膛尺寸可定做    


4、可增加進(jìn)氣、排氣閥門   5、爐膛材料可選進(jìn)口材料   6、可選UL認(rèn)證電器板  


7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品  8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標(biāo)型號(hào)產(chǎn)品




產(chǎn)品描述:


CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+立式爐+抽氣系統(tǒng),采用雙層殼體結(jié)構(gòu),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料。極限真空可以達(dá)到10Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。


技術(shù)參數(shù):


1.型號(hào):?VTL1700-C-I   ?VTL1700-C-II       2.額定溫度:1650℃


3.爐管長(zhǎng)度:?Φ60X1000mm ?Φ80X1000mm      4.高溫度:1700℃    


5.功率:7.5KW   6.電壓:220V/380V   7.升溫速率:≤10℃/min                       8.加熱段:300mm   9.加熱元件:硅鉬棒   10.熱電偶:B型    


11.溫控方式:智能化30段可編程控制


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