這款TL1200 滑竿式PECVD系統(tǒng)是一款能夠快速加熱、冷卻PECVD系統(tǒng)，是在PECVD系統(tǒng)上安裝一對滑軌，可用手動滑動系統(tǒng)。加熱和冷卻速率更大可達(dá)100°C/min。為取得快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s，是低成本快速加熱、冷卻的PECVD系統(tǒng)。

     這款TL1200滑竿式PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3 Pa， 該系統(tǒng)使用方便，操作簡單，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、生長石墨烯、生長各種薄膜的理想產(chǎn)品.。

滑竿式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品描述：

該爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。加熱和冷卻速率更大可達(dá)100°C/min。為取得快加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/S，是低成本快速熱處理的理想爐。

滑竿式單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

1.溫控方式：智能化30段可編程控制            2.更高溫度：1200℃                 3.電壓：220V

4.額定溫度：1150℃                           5.熱電偶：K型                      6.加熱段長：400mm

7.加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲                                

8.升溫速率：≤20℃/min   推薦升溫速率：≤10℃/min      

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font>通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)?？梢酝ㄟ^射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。