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氫化物氣體檢測/分析儀 FP-260

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更新時間:2025-07-25 09:57:39瀏覽次數(shù):139

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:產(chǎn)品詳細介紹工業(yè)半導體凈化室的理想檢測儀更適于低濃度氣體檢測(ppm級)抗干擾性強盒式帶取放簡便盒帶剩余量顯示產(chǎn)品功能描述檢測原理使用盒式紙帶的光電光度學原理檢測紙帶盒式紙帶

詳細介紹

產(chǎn)品介紹:

產(chǎn)品詳細介紹

工業(yè)半導體凈化室的理想檢測儀
更適于低濃度氣體檢測(ppm級)
抗干擾性強
盒式帶取放簡便
盒帶剩余量顯示
產(chǎn)品功能描述
檢測原理 使用盒式紙帶的光電光度學原理
檢測紙帶 盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶
電源和耗電量 AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測狀態(tài)耗能為35VA,在紙帶卷動時耗能為60VA)
產(chǎn)品物理特征
長度 370mm
寬度 275mm
高度 220mm
重量 約12kg
產(chǎn)品持有證書
CE
其它
檢測氣體和范圍
檢測氣體
TLV值
檢測范圍
解析值
磷 PH4
300ppb
0##900ppb
5
四氫化硅 SiH4
5ppm
0##15ppm
0.25
B2H6
100ppb
0##300ppb
5
砷烷AsH3
50ppb
0##150ppb
1
乙硅烷 SiH6
5ppm
0##10ppm
0.1
硫化氫 HS2
10ppm
0##100ppm
1
光氣 COCl2
100ppb
0##300ppb
2
氯氣 Cl2
0.5ppm
0##100ppb
1
硒化氫 H2Se
50ppb
0##300ppb
2

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