尾氣回收塔：傳統(tǒng)的多晶硅生產(chǎn)中，產(chǎn)生的尾氣主要包括氫氣、、氯硅烷，所述氯硅烷包 括二氯二氫硅、三氯氫硅、以及四氯化硅，這些尾氣主要依靠尾氣回收裝置來(lái)回收其中的氫 氣、、以及氯硅烷，其中氫氣的回收采用活性炭吸附技術(shù)，回收后得到的氫氣純度為 98%左右，當(dāng)將該回收的氫氣用于還原系統(tǒng)中生產(chǎn)多晶硅時(shí)，由于該氫氣中夾帶有少量的及氯硅烷氣體，進(jìn)入還原工序后影響多晶硅的沉積速率及產(chǎn)品質(zhì)量，目前采用的解決 方法主要是增加吸收劑用量、降低吸附柱使用時(shí)間、加大吸附柱再生氣量等手段，這些手段 造成增加氫氣使用量，或增加生產(chǎn)成本。

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的尾氣回收裝置回收氫氣的 純度較低的不足，提供一種多晶硅尾氣回收方法及裝置，采用該方法和裝置能夠提高回收 氫氣的純度，并能合理利用多晶硅生產(chǎn)尾氣回收過(guò)程中的冷量，降低尾氣回收能耗，以及能 提商多晶娃廣品的品質(zhì)。本實(shí)施例提供一種多晶硅尾氣回收方法，其包括如下步驟：

對(duì)多晶硅尾氣進(jìn)行冷凝，以將所述多晶硅尾氣中的氯硅烷冷凝成液態(tài)，并將所述 液態(tài)氯硅烷與所述多晶硅尾氣中余下的混合氣分離；

對(duì)所述混合氣進(jìn)行壓縮以使之升壓，再將升壓后的混合氣與所述液態(tài)氯 硅烷進(jìn)行氣液換熱；

經(jīng)氣液換熱后的液態(tài)氯硅烷進(jìn)入解析塔，以解析出其中的，被解析出之后的液態(tài)氯硅烷再進(jìn)入吸收塔中作為吸收劑，以吸收進(jìn)入吸收塔的混合氣中的；

經(jīng)氣液換熱后的混合氣與從吸收塔被吸收后出來(lái)的第二混合氣進(jìn)行 氣氣換熱；

經(jīng)氣氣換熱后的混合氣進(jìn)入吸收塔中，經(jīng)氣氣換熱后的第二混合氣進(jìn)入吸附 塔中，以濾除出第二混合氣中殘余的氣態(tài)和氯硅烷，從而得到純凈的氫氣。

本實(shí)施例還提供一種多晶硅尾氣回收裝置，其包括：

冷凝換熱器，用于對(duì)多晶硅尾氣進(jìn)行冷凝，以將所述多晶硅尾氣中的氯硅烷冷凝 成液態(tài)；

氣液分離罐，與冷凝換熱器相連，用于將從冷凝換熱器出來(lái)的液態(tài)氯硅烷與多晶 硅尾氣中余下的混合氣進(jìn)行分離；

壓縮機(jī)，與氣液分離罐相連，用于對(duì)所述混合氣進(jìn)行壓縮以使之升壓；

氣液換熱器，分別與氣液分離罐和壓縮機(jī)相連，用于對(duì)從壓縮機(jī)中出來(lái)的經(jīng)升壓 后的混合氣以及從氣液換熱器中出來(lái)的液態(tài)氯硅烷進(jìn)行氣液換熱；

解析塔，與氣液換熱器相連，用于對(duì)從氣液換熱器中出來(lái)的液態(tài)氯硅烷進(jìn)行解析， 以解析出其中的；

吸收塔，分別與解析塔和氣氣換熱器相連，解析塔中解析出之后的液態(tài)氯 硅烷進(jìn)入吸收塔中，作為吸收塔的吸收劑以吸收從氣氣換熱器中進(jìn)入吸收塔的混合氣 中的；

氣氣換熱器，與氣液換熱器相連，用于對(duì)從氣液換熱器出來(lái)的混合氣以及從 吸收塔中出來(lái)的被吸收之后的第二混合氣進(jìn)行氣氣換熱；

吸附塔，與氣氣換熱器相連，用于對(duì)從氣氣換熱器中出來(lái)的第二混合氣進(jìn)行吸附， 以濾除出第二混合氣中殘余的氣態(tài)和氯硅烷，從而得到純凈的氫氣。