惰性氣體純化器的原理是利用合金吸附劑能與氧氣、氮?dú)?、水、二氧化碳和烴類等雜質(zhì)反應(yīng)生成穩(wěn)定化合物或固溶體的性質(zhì)來把氬氣、氦氣、氖氣、氙氣等惰性氣體中的上述雜質(zhì)除去，從而達(dá)到純化之目的，凈化后得到的高純氣體可廣泛用于半導(dǎo)體、電子、冶金、鋰電池制造及直讀光譜分析和輝光光譜分析等產(chǎn)業(yè)部門和科學(xué)研究中。

產(chǎn)品特點(diǎn)

⑴凈化程度深，不僅能除去O₂等較活潑的雜質(zhì)，而且還可以除去N₂等惰性雜質(zhì)，這是一般凈化機(jī)辦不到的；

⑵本純化器為雙塔結(jié)構(gòu)，一組工作，另一組備用，故一臺能頂兩臺單式純化器使用；

⑶工作溫度較低，能耗少。

本系列凈化機(jī)配置有預(yù)凈化模塊，在合金吸附塔之前已經(jīng)除去了較活波的雜質(zhì)，故極大的延長了合金吸附塔的使用壽命。

FX系列惰性氣體純化器技術(shù)參數(shù)表