GD90-RF射頻輝光放電質(zhì)譜儀
GDMS技術(shù)使原子化（碎片化）過(guò)程與離子化過(guò)程分開(kāi)進(jìn)行，故而可容易的對(duì)ppb至ppt級(jí)別的痕量雜質(zhì)進(jìn)行測(cè)量。此法還使得GDMS技術(shù)擁有小的基體效應(yīng)且無(wú)須特定參照材料。它可對(duì)金屬與合金進(jìn)行全掃描分析，可對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行整體的測(cè)量分析，可對(duì)多層結(jié)構(gòu)與鍍層進(jìn)行深度剖析。是包括金屬、合金、半導(dǎo)體以及緣體等高純材料的生產(chǎn)與質(zhì)量控制的理想工具。
GD90-RF射頻輝光放電質(zhì)譜儀主要由三部分構(gòu)成：輝光放電離子源、質(zhì)量分析器、檢測(cè)器。另外還包括一些輔助系統(tǒng)，如真空系統(tǒng)、離子光學(xué)系統(tǒng)、電學(xué)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集控制系統(tǒng)等。而GD90-RF射頻輝光放電質(zhì)譜儀具有靈活的雙離子源系統(tǒng)：直流源（DC）和射頻源（RF）。GD90-RF離子源包含直流源和射頻源，切換簡(jiǎn)單方便，可以直接分析不同尺寸的塊狀、針狀及粉末樣品。高電離閾值材料離子源室，有效避免電離時(shí)帶來(lái)的污染。
GD90-RF射頻輝光放電質(zhì)譜儀的主要特性：
1、對(duì)塊狀、針狀或粉末狀的導(dǎo)體或非導(dǎo)體樣品進(jìn)行直接分析；
2、高分辨率，特別是對(duì)于有干擾離子存在的測(cè)定而言十分重要；
3、廣泛的元素涵蓋范圍，軟件中包括70個(gè)元素相關(guān)的干擾離子數(shù)據(jù)；
4、由于原子化和離子化過(guò)程發(fā)生在不同區(qū)域，帶來(lái)可忽略的基體效應(yīng)；
5、低至亞ppb級(jí)的檢測(cè)限；
6、具有深度剖析能力；
7、少的樣品制備過(guò)程。