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108manual真空鍍膜儀

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更新時間:2026-04-11 08:34:42瀏覽次數(shù):70

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產(chǎn)品簡介

108 manual是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜

詳細介紹

108 manual是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

主要特性

l 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

l 操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

l 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。

l 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。

l 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

l 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。

技術參數(shù)

濺射系統(tǒng)

樣品室大小

直徑120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")

靶材

Au 靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚

樣品臺

可以裝載12個SEM樣品座,高度可調范圍為60mm

濺射控制

微處理器控制,安全互鎖,可調,電流40mA,程序化數(shù)字控制

濺射頭

低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩

模擬計量

真空: Atm - 0.001mbar

厚度監(jiān)控
(
選件)

使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度

控制方法

手動氣體換氣和泄氣功能,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器(5-300s),手動放氣

真空系統(tǒng)

真空泵

2級直連式高速真空泵

抽氣速率

3.0 m3/小時 ,真空度到 0.1mb所需時間30秒.

桌上系統(tǒng)

真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

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