詳細(xì)介紹
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| 應(yīng)用 | |
| 應(yīng)用:射頻(300W)裂解蒸發(fā)物質(zhì)并可多種氣體(Ar;Ne;N2; H2 etc.)混合激發(fā)形成等離子體以實(shí)現(xiàn)多元素化合物薄膜生長(zhǎng)的生長(zhǎng)或摻雜 | |
| 技術(shù)指標(biāo) | |
| *型號(hào):RFK30 *蒸發(fā)裂解如磷;砷;硒 和硫等多原子態(tài)固體為以單原子為主流的活性束流 *蒸發(fā)區(qū)域(30cc)具有獨(dú)立的溫控功能( max 450C),通過(guò)溫度可控制固態(tài)物質(zhì)的蒸發(fā)流量 *高效水冷,低系統(tǒng)熱載,適用于熱敏化合物的生長(zhǎng)或摻雜 *束流穩(wěn)定監(jiān)測(cè)及回控系統(tǒng) *可實(shí)現(xiàn)射頻自動(dòng)匹配單元和等離子體監(jiān)控的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制 |
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