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詳細(xì)介紹
| 離子束拋光真空系統(tǒng) | ||
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| 應(yīng)用 | ||
| 應(yīng)用：領(lǐng)域包括樣片的離子拋光、減薄、清洗等 | ||
| 技術(shù)指標(biāo) | ||
| *型號(hào)：IM150 *可兼容射頻離子源RF50或RF150的真空系統(tǒng)（未烘烤下的真空度可達(dá)到10-8 mbar） *配備角度可調(diào)且可旋轉(zhuǎn)的水冷樣品架 *便捷的前門裝載基片方式 **離子束拋光真空系統(tǒng)依客戶應(yīng)用要求可實(shí)現(xiàn)多元化配置組合 | ||
| 特點(diǎn) | ||
| *型號(hào)：IM150 *可兼容射頻離子源RF50或RF150的真空系統(tǒng)（未烘烤下的真空度可達(dá)到10-8 mbar） *配備角度可調(diào)且可旋轉(zhuǎn)的水冷樣品架 *便捷的前門裝載基片方式 *離子束拋光真空系統(tǒng)依客戶應(yīng)用要求可實(shí)現(xiàn)多元化配置組合 |
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